Den scatterometry er en optisk teknikk basert på analyse av lys som spres av en periodisk struktur ( diffraksjon ) eller ikke-periodisk. Ordet scatterometry er også en neologisme fra engelsk spredning som betyr diffusjon .
Scatterometry sies:
Dette behovet er spesielt sterkt innen mikroelektronikk .
Scaterometry er en ikke-invasiv og ikke-destruktiv målingsteknikk for nanometrisk dimensjon; det tillater derfor online proseskontroll under produksjon av halvledere.
I dette tilfellet er det radarbølger som sendes ut fra en satellitt som er bestemt for havoverflaten. Formen på bølgene brukes til å måle vindhastigheten ved sjø-luftgrensesnittet.