En vakuumpumpe er en type pumpe som brukes til å skape et vakuum , det vil si å trekke ut luften eller annen gass som finnes i et lukket kammer , for å redusere trykket .
Gassene som skal evakueres er på den ene siden de som er tilstede ved starten av evakueringen (vanligvis ved atmosfærisk trykk) og på den annen side de som kommer fra fenomener som naturlig avgassing av vakuumveggene (eller til og med fra områder som er oppvarmet.), fordampning av en væske utsatt for et lavere trykk, mulige lekkasjer (ekte eller virtuell), permeabiliteten til skjøtene eller veggene, eller til og med bevisst innføring av gass (produksjons- eller behandlingsprosesser, innen halvledere for eksempel), fordampning av fett.
Det er forskjellige vakuumpumpesystemer, hvis valg avhenger blant annet av ønsket vakuumkvalitet. De vanligste teknologiene er:
For å beskytte vakuumpumper fra noen uønskede bestanddeler i gassfasen, brukes en felle. Denne fellen kan være en kald felle som opererer ved kondens , en sorpsjonsfelle som opererer ved sorpsjon eller en ionefelle som opererer ved ionisering .
For å redusere tapet av olje fra vakuumpumpen, brukes en oljeseparator. For å fjerne forurensninger fra oljen, brukes en oljerenser.