65 nm betegner halvlederproduksjonen som etterfølger CMOS- produksjonsprosessen på 90 nm . De første prosessorene med denne teknologien dukket opp på markedet i 2006.
Xenon- prosessorer fra "Falcon" -generasjonen er inngravert i 65 nm-teknologi, samt POWER6- og Itanium 4-kjernene som ble utgitt i 2008.
I følge kjøreplanen til ITRS er etterfølgeren til 65 nm teknologi 45 nm .