Den microfabrication er det sett av teknisk produksjon for fremstilling av enheter med strukturene i størrelsesorden mikrometer og nedenfor.
Generelt skilles det mellom mikroelektroniske teknikker og derivater derav, brukt for eksempel for fremstilling av elektroniske sjetonger , mikrosystemer og laserdioder , og andre teknikker som kommer fra tradisjonelle maskineringsteknikker .
For produksjonsteknikker som stammer fra mikroelektronikk, blir silisiumplater vanligvis brukt som substrat. Enheten er deretter strukturert ved en rekke avsetnings- og formingstrinn ved fotolitografi og tørr eller våt etsning.
Noen selskaper, som Alvéole (firma), bruker fotolitografi på lysfølsomme harpikser (eksempel: SU-8 ) for å lage mikrostrukturer.
Siden begynnelsen av 2000-tallet har to-foton-polymerisasjonsteknikken gjort det mulig for forskere og deretter selskaper å utvikle 3D-mikrofabrikeringsmaskiner som gjør det mulig å produsere strukturer med veldig stor kompleksitet. produksjon av bevegelige deler, derfor relativt løsrevet fra underlaget, som vanligvis oppnås ved å bruke et offerlag.