Trimetylsilan

Trimetylsilan
Struktur av trimetylsilan
Identifikasjon
IUPAC-navn	trimetylsilan
N o CAS	993-07-7
N o ECHA	100.012.366
N o EC	213-603-0
PubChem	70435
SMIL	C [SiH] (C) C PubChem , 3D-visning
InChI	Std. InChI: 3D-visning InChI = 1S / C3H10Si / c1-4 (2) 3 / h4H, 1-3H3 Std. InChIKey: PQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-N
Utseende	fargeløs gass med en søt, kvalm lukt
Kjemiske egenskaper
Brute formel	C 3 H 10 Si   [isomerer]
Molarmasse	74,197 ± 0,0034  g / mol C 48,56%, H 13,58%, Si 37,85%,
Fysiske egenskaper
T ° fusjon	-135,89  ° C
T ° kokende	6,7  ° C
Volumisk masse	0,635  g · cm -3 (væskekokende)
Selvantennelsestemperatur	235  ° C
Mettende damptrykk	156,9  kPa ved 20  ° C
Forholdsregler
SGH
Fare H220, H280, P210, P377, P381, P403, H220  : Ekstremt brannfarlig gass H280  : Inneholder gass under trykk; kan eksplodere ved oppvarming P210  : Holdes borte fra varme / gnister / åpen ild / varme overflater. - Røyking forbudt. P377  : Lekkasje på antennet gass: Ikke slukk hvis lekkasje ikke kan stoppes trygt. P381  : Fjern alle antenningskilder hvis det kan gjøres uten risiko. P403  : Oppbevares på et godt ventilert sted.
Transportere
23    3161    Kemler-kode: 23  : brannfarlig gass UN-nummer  : 3161  : FLYTENDE BRANNFARLIG GASS, NOS Klasse: 2.1 Etikett: 2.1  : Brennbare gasser (tilsvarer grupper betegnet med store bokstaver F); Emballasje: -
Enheter av SI og STP med mindre annet er oppgitt.

Den trimetylsilan er en kjemisk forbindelse med formelen SiH (CH 3 ) 3. Det er en fargeløs gass med en søt og kvalmende lukt, veldig brannfarlig, kan antennes spontant i nærvær av urenheter og danner eksplosive blandinger med luft . Det kan fremstilles ved å redusere den trimetylsilylklorid SiCl (CH 3 )med et egnet reduksjonsmiddel, slik som litium- aluminium- hydrid LiAlH 4 :

4 SiCl (CH 3 )+ LiAlH 4Si 4 SiH (CH 3 ) 3+ LiCl + AlCl 3.

Den kan brukes i halvlederindustrien for avleiring av dielektriske eller diffusjonsbarrierer  (en) ved kjemisk dampavsetning, plasmaforbedret ( PECVD ).

Merknader og referanser

1. beregnede molekylmasse fra "  atomvekter av elementene 2007  " på www.chem.qmul.ac.uk .
2. Oppføring "Trimethylsilane" i den kjemiske databasen GESTIS fra IFA (tysk organ med ansvar for arbeidsmiljø og sikkerhet) ( tysk , engelsk ), åpnet 16. desember 2012 (JavaScript kreves)
3. (in) Sheng-Wen Chen, Yu-Sheng Wang, Shao-Yu Hu, Wen-Hsi Lee Chieh Cheng-Chi og Wang Ying-Lang , "  En studie av trimetylsilan (3MS) og tetrametylsilan (4MS) -basert α- SiCN : H / α-SiCO: H Diffusion Barrier Films  ” , Materials , vol.  5, n o  3, mars 2012, s.  377-384 ( PMID  28817052 , PMCID  5448926 , DOI  10.3390 / ma5030377 , Bibcode  2012Mate .... 5..377C , les online )